具有双向对准图案之光罩

摘要

本发明系关于一种具有双向对准图案之光罩，其包括一布局图案区，一位于布局图案区外围之外部图案区，其中外部图案区上具有复数个由数个水平图案组与数个垂直图案组交错排列所构成的双向对准图案，该双向对准图案于进行多重对准时，不但可以提高对准的对准角度，减低因使用多重对准所损失产能的效应并可以节省晶片街道对准记号的空间。