发明名称 FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE FOR IMPROVEMENT OF REMOVING RESIDU AND THERMAL STABILITY
摘要
申请公布号 KR20050099327(A) 申请公布日期 2005.10.13
申请号 KR20040024598 申请日期 2004.04.09
申请人 MAGNACHIP SEMICONDUCTOR, LTD. 发明人 PARK, SUNG HYUNG;LEE, HI DEOK
分类号 H01L21/24;H01L21/285;H01L21/318;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/336;H01L21/44;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/24 主分类号 H01L21/24
代理机构 代理人
主权项
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