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发明名称
substrate transfer apparatus and method of substrate transfer
摘要
申请公布号
KR100519983(B1)
申请公布日期
2005.10.13
申请号
KR20000001965
申请日期
2000.01.17
申请人
发明人
分类号
B65G49/07;(IPC1-7):B65G49/07
主分类号
B65G49/07
代理机构
代理人
主权项
地址
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