发明名称 substrate transfer apparatus and method of substrate transfer
摘要
申请公布号 KR100519983(B1) 申请公布日期 2005.10.13
申请号 KR20000001965 申请日期 2000.01.17
申请人 发明人
分类号 B65G49/07;(IPC1-7):B65G49/07 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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