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发明名称 Gap measurement device for measuring a gap between a mask and a substrate using a laser displacement sensor, and measuring method thereof
摘要
申请公布号 KR100520305(B1) 申请公布日期 2005.10.13
申请号 KR20030021406 申请日期 2003.04.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G01B11/14;G03F9/00;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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