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发明名称
摘要
申请公布号	JP2005530605(A)	申请公布日期	2005.10.13
申请号	JP20040514771	申请日期	2003.06.18
申请人		发明人
分类号	B08B3/02;G11B5/84;G11B7/26;H01L21/00;(IPC1-7):B08B3/02	主分类号	B08B3/02
代理机构		代理人
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