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Das Vakuumsystem besteht aus einer Vakuumkammer (10) und einem Aggregat (11), die durch eine Flanschverbindung (20) verbunden sind. Zur Vermeidung der Übertragung von Vibrationen von dem Aggregat (11) auf die Vakuumkammer (10) ist zwischen den Flanschen (13, 14) ein elastomerer Dämpfungsring (15) vorgesehen. Spannbolzen (21), die die Flansche (13, 14) gegen den Dämpfungsring (15) drücken, enthalten unter den Köpfen (22, 23) Federelemente (24, 25). Wenn das Vakuum die Arbeitsgröße erreicht hat, wird der Dämpfungsring (15) unter der Vakuumwirkung so weit komprimiert, dass die Spannbolzen (21) und die Federelemente (24, 25) entlastet werden. Dadurch wird der Vibrationsübertragungsweg (30) über die Spannbolzen unterbrochen.
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