Substrat

摘要

Ein Substrat der vorliegenden Erfindung weist eine Basis (1), eine Zwischenschicht (2), einen leitfähigen Bereich (3) und leitfähige Schichten (4 und 5) auf. Die Basis (1) hat Isoliereigenschaften. Die Zwischenschicht (2) ist auf einer Hauptfläche der Basis (1) ausgebildet. Der leitfähige Bereich (3) ist auf der Zwischenschicht (2) ausgebildet. Die leitfähigen Schichten (4 und 5) sind auf dem leitfähigen Bereich (3) ausgebildet, so daß ein freigelegter Bereich des leitfähigen Bereichs (3) überdeckt ist. Mit dieser Struktur ist es möglich, ein Substrat zu schaffen, das in der Lage ist, das Auftreten von Rissen in einer Oberfläche der Basis zu unterdrücken, während zugleich eine Produktivitätsverbesserung und Kostenreduzierung gewährleistet ist.