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发明名称
METHOD OF DEPOSITING A LAYER
摘要
申请公布号
KR100521380(B1)
申请公布日期
2005.10.12
申请号
KR20030034497
申请日期
2003.05.29
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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