摘要 |
本发明涉及一种坩埚升降法补充熔料生长晶体的装置和方法,属于晶体生长领域。本发明生长装置中,生长坩埚10与原料补给坩埚8相连通,补给坩埚可套在生长坩埚的外部。生长坩埚的顶部或补给坩埚的底部连接坩埚升降机构3。提拉旋转系统包括提拉旋转机构2、籽晶杆11。加热控温机构4与加热元件7相连构成加热控温系统,用以控制坩埚的温度。称量装置1与提拉旋转机构2和坩埚升降机构3相连接,根据提拉所得的晶体重量控制生长坩埚或补给坩埚的升降,将原料补给坩埚中的熔体补入生长坩埚。采用本发明的生长装置和方法获得的单晶成分均匀性高、成分可调整、光学均匀性好、尺寸大,本发明的生长设备简单、成本低。 |