用于监视和控制半导体生产过程的方法和装置

摘要

本发明提供了一种包括图形用户接口(GUI)的高级过程控制(APC)系统用于监视和控制由半导体处理系统执行的半导体制造过程。该半导体处理系统包括多个处理工具、多个处理模块(室)和多个传感器，并且APC系统包括APC服务器、数据库、接口服务器、客户工作站和GUI组件。GUI是基于网络的并且用户能够通过网络浏览器进行查看。

主权项

1.一种用于在半导体处理环境中控制处理工具的高级过程控制(APC)系统，该APC系统包括：APC服务器，其提供多种APC相关应用；接口服务器(IS)，其与APC服务器耦连；数据库，其与IS和APC服务器耦连；和与APC服务器耦连的GUI组分，其中IS包括用于耦连处理工具的装置，用于耦连多个处理模块的装置，和用于耦连多个传感器的装置。