| 发明名称 | 用于材料控制系统接口的方法和设备 | ||
| 摘要 | 提供了一种管理小批次在电子设备制造设施中的处理工具之间移动的方法和设备。在一些实施例中，确定多个将处理的优先批次并且在处理工具的衬底装载站保留相等数目的载体存储位置。通过处理并且从衬底装载站提升占据的非优先批次和/或移动未处理的占据的非优先批次来使多个保留的载体存储位置可用。然后把优先批次转送到保留的载体存储位置。还提供了其他实施例。 | ||
| 申请公布号 | CN1681083A | 申请公布日期 | 2005.10.12 |
| 申请号 | CN200510069717.2 | 申请日期 | 2005.02.28 |
| 申请人 | 应用材料有限公司 | 发明人 | 戴维·C.·杜芬;丹尼尔·R.·杰索普;迈克尔·特弗拉;艾米特·普利;格雷德·L.·沃纳 |
| 分类号 | H01L21/00;H01L21/68;B65G49/05 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 康建忠 |
| 主权项 | 1.一种方法，包括：确定将处理的多个优先批次；在处理工具的衬底装载站处保留多个载体存储位置，其中载体存储位置的数目基于优先批次的数目；使保留的多个载体存储位置可用；并且将优先批次转送至保留的载体存储位置。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚 | ||