信息记录媒体及其制造方法、其原盘制作方法及照射装置

摘要

涉及信息记录媒体用原盘制作方法等。本发明提供一种利用电子束照射提高了记录位置精度的信息记录媒体用的原盘照射装置。本发明的信息记录媒体用的原盘照射装置100具有：对具有利用电子束照射产生极性变化的电子束感应抗蚀膜的原盘(21)，每单位时间照射一定量的电子束(19)的电子束照射装置，保持上述原盘(21)使并使其转动的驱动装置，变动电子束照射装置和原盘(21)的水平方向的相对位置的变动装置，在利用电子束照射装置照射电子束(19)时根据相对位置控制原盘(21)的转数的原盘转动控制装置。如采用这种原盘照射装置(100)，则可制作降低了整个原盘21的记录轨道的沟宽的变动及噪音水平的信息记录媒体用原盘。

主权项

1.一种信息记录媒体用原盘制作方法，该方法使用原盘照射装置对具有利用电子束照射产生极性变化的电子束感应抗蚀膜的原盘照射电子束，形成螺旋状或同心圆状的轨道；上述原盘照射装置具有：照射电子束的电子束照射装置，保持原盘并使其转动的驱动装置，使电子束照射装置与原盘在水平方向的相对位置进行变动的变动装置；其特征在于：将上述电子束照射的区域划分成在半径方向上按同心圆状划分成的多个记录区域，使上述原盘的电子束照射的区域在每单位时间的电子束照射量保持一定，控制所划分的上述各个记录区域的上述原盘的转数使其保持一定。