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发明名称 A METHOD OF FILM-FORMING OF TUNGSTEN
摘要
申请公布号 KR100521702(B1) 申请公布日期 2005.10.12
申请号 KR19990058574 申请日期 1999.12.17
申请人 发明人
分类号 C23C16/00;H01L21/768;C23C16/08;(IPC1-7):C23C16/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
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