常压射频冷等离子体系统及其喷枪

摘要

一种常压射频冷等离子体系统，包括喷枪、射频电源、供气源，其特征在于：该喷枪包括一外壳，该外壳一端封闭，另一端设有喷口，于该外壳内设有内电极和包覆在该内电极外围的外电极，该内电极与射频电源连接，该外电极接地，该内电极与外电极之间位于外壳的封闭端处设有绝缘体，该内电极与外电极之间形成放电区间，该放电区间一端与该喷口相通，另一端与进气导管相通，该进气导管与供气源连通。本发明能在大气压下稳定工作并产生低电压、大面积冷等离子体束流，可用于清洗、杀菌、消毒等广泛领域。

主权项

1、一种常压射频冷等离子体系统，包括喷枪、射频电源、供气源，其特征在于：该喷枪包括一外壳，该外壳一端封闭，另一端设有喷口，于该外壳内设有内电极和包覆在该内电极外围的外电极，该内电极与射频电源连接，该外电极接地，该内电极与外电极之间设有绝缘体，该内电极与外电极之间还设有放电区间，该放电区间一端与该喷口相通，另一端与进气导管相通，该进气导管与供气源连通，放电是在常压下进行的。