具有叠层结构的微型装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种具有作为容易破损且薄的层的缺欠部形成的微细毛细管状空腔的微型装置的制造方法，特别是以高的生产率制造具有立体复杂流路的微型装置的制造方法，而且能够提供一种具有多层树脂层层叠、微细毛细管状空腔贯通各层相互连接、立体交叉的微细毛细管状流路及具有形成反应槽的空间、隔膜式阀、及阀结构等的多功能的微型装置。制造方法包括以下工艺，即：在涂敷支持体上形成的由活化能射线固化性组合物组成的具有缺欠部的半固化涂膜，将该半固化涂膜层叠在其它部件上，除去支持体，在除去支持体前、后或除去支持体的前后再照射活化能射线，使该涂膜固化的同时与其它部件粘接。

主权项

1.一种微型装置的制造方法，是具有一层以上的具有缺欠部的树脂层(X)、该树脂层与其它的部件或其它的树脂层(X)层叠、缺欠部形成空腔、具有叠层结构的微型装置的制造方法，其中包括以下工艺：(i)在涂敷支持体上涂敷含有活化能射线聚合物(a)的活化能射线固化性组合物(x)，形成未固化涂膜的工艺(i)；(ii)在构成缺欠部以外未固化涂膜上照射活化能射线，使照射部的未固化涂膜变为半固化涂膜，使未反应的活化能射线聚合性官能基残留，形成半固化涂膜的工艺(ii)；(iii)从固化涂膜上将非照射部分的未固化的组合物(x)除去，获得具有涂膜的缺欠部的半固化涂膜的工艺(iii)；(iv)在其它部件(J)上层叠具有缺欠部的半固化涂膜，形成树脂层(X)的工艺(iv)；(v)通过将涂敷支持体从树脂层(X)上除去，将树脂层(X)复制在部件(J)上的工艺(v)；(vi)在工艺(iv)之后工艺(v)之前，或在工艺(v)的前后，在半固化状态的树脂层(X)上照射活化能射线，进一步固化树脂层(X)，将该树脂层(X)粘接在部件(J)上的工艺(vi)。