| 发明名称 | 载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法 | ||
| 摘要 | 一种载置台、表面特性测定机及表面特性测定方法，具有载置作为测定或加工的对象的工件的载置面的载置台包括：支承机构，其支承载置台，为使载置台在加工成平面的平台上移动或旋转自如，可将载置台从该平台浮起，或将载置台固定支承在所述平台上；多个基准，其用于测定载置台的多种姿势，检测各姿势下载置台的位置和旋转。 | ||
| 申请公布号 | CN1680770A | 申请公布日期 | 2005.10.12 |
| 申请号 | CN200510063828.2 | 申请日期 | 2005.04.08 |
| 申请人 | 三丰株式会社 | 发明人 | 大坪圣一 |
| 分类号 | G01B5/00;G01B21/00 | 主分类号 | G01B5/00 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李贵亮;杨梧 |
| 主权项 | 1、一种载置台，具有载置作为测定或加工的对象的工件的载置面，其特征在于，包括：支承机构，其支承载置台，为使载置台在平台上移动、旋转自如，可将所述载置台从所述平台浮起，或将所述载置台固定支承在所述平台上；多个基准，其用于测定所述载置台的多种姿势。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||