| 发明名称 |
Method for forming organic/inorganic hybrid insulation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1564268(A3) |
申请公布日期 |
2005.10.12 |
| 申请号 |
EP20050000400 |
申请日期 |
2005.01.11 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. |
发明人 |
AOI, NOBUO |
| 分类号 |
B05D7/00;B05D7/24;C09D4/00;C09D183/04;C23C16/00;C23C16/40;H01L21/312;(IPC1-7):C09D183/00 |
主分类号 |
B05D7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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