发明名称 一种银纳米电极的制备方法
摘要 本发明涉及一种银纳米电极的制备方法。包括梳状金电极刻蚀,还包括(1)自组装基底准备:取经过有机溶剂中超声处理并用水洗净的P型Si(100)基片,放入Piranha溶液中处理后用水洗净并用非氧化性气体吹干,再用OTS溶液处理并用有机溶剂洗净;(2)纳米线刻蚀:用导电原子力显微镜电流同时测模式在自组装基片上刻蚀纳米线,针尖曲率半径50纳米以下;(3)纳米线生成:把刻蚀后的基片放入醋酸银水溶液浸泡、取出短时间浸泡乙醇、再放入硼氢化钠水溶液中浸泡、水洗、非氧化性气体吹干,最后放入银增强溶液使电极线增高。利用本发明制备银纳米电极方法简单,制得的纳米电极宽度、间距均可控制在纳米量级,导电性好。
申请公布号 CN1681095A 申请公布日期 2005.10.12
申请号 CN200410010181.2 申请日期 2004.04.05
申请人 河南大学 发明人 杜祖亮;张兴堂;李天锋;李蕴才
分类号 H01L21/44;H01L21/28;B82B3/00 主分类号 H01L21/44
代理机构 郑州联科专利事务所 代理人 田小伍
主权项 1、一种银纳米电极的制备方法,包括梳状金电极刻蚀,其特征在于,还包括(1)自组装膜基底准备:取经过有机溶剂中超声处理并用水洗净的P型Si(100)基片,放入Piranha溶液中处理后用水洗净并用非氧化性气体吹干,再用OTS溶液处理并用有机溶剂洗净;(2)纳米线刻蚀:用导电原子力显微镜电流同时测模式在自组装基片上刻蚀纳米线,针尖曲率半径50纳米以下;(3)纳米线生成:把刻蚀后的基片放入醋酸银水溶液浸泡、取出短时间浸泡乙醇、再放入硼氢化钠水溶液中浸泡、水洗、非氧化性气体吹干,最后放入银增强溶液使电极线增高。
地址 475001河南省开封市明伦街85号