| 发明名称 | 腐蚀液及腐蚀方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供腐蚀液，该腐蚀液适合应用在将表面上形成了介电常数为大于等于8的膜(High－k膜)和硅氧化膜的材料进行腐蚀处理，High－k膜的腐蚀速度为大于等于2/分，热氧化膜(THOX)和High－k膜的腐蚀速度的比为小于等于50。前述腐蚀液优选使用氟化氢(HF)和各种醚系有机溶剂混合后的物质。 | ||
| 申请公布号 | CN1682355A | 申请公布日期 | 2005.10.12 |
| 申请号 | CN03821750.3 | 申请日期 | 2003.08.04 |
| 申请人 | 大金工业株式会社 | 发明人 | 板野充司;金村崇;百田博史;渡边大祐 |
| 分类号 | H01L21/308 | 主分类号 | H01L21/308 |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 樊卫民;杨青 |
| 主权项 | 1.一种腐蚀液，介电常数为大于等于8的膜(High-k膜)的腐蚀速度为大于等于2/分，热氧化膜(THOX)和High-k膜的腐蚀速度的比([THOX的腐蚀速度]/[High-k膜的腐蚀速度])为小于等于50。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||