发明名称 Device for handling a disk-like workpiece
摘要
申请公布号 EP1170782(A3) 申请公布日期 2005.10.12
申请号 EP20010114182 申请日期 2001.06.12
申请人 SEZ AG 发明人 LINDNER, JOHANNES
分类号 H01L21/306;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/68 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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