等离子区的异常放电检测装置及其检测方法

摘要

本发明涉及等离子区异常放电检测装置及其检测方法。在等离子处理室的构成零部件中配置多个超声波检测装置，用超声波检测装置对异常放电时所产生的超声波进行测定，将各个超声波检测装置的传感器的输出在同一时间轴上进行比较，求得超声波检测装置的传播时间的差及最大振幅值，以这些为基础判定等离子处理中异常放电的发生及其位置，并予以显示和警告。通过用逐次逼近法计算传播时间之差和距异常放电源的距离的关系式，可以用设置在处理室壁面上的4个超声波检测装置达到目的。将AE传感保持盒的下部盒粘结到处理室的一定位置，用上盖由上部内侧以适当的压力将AE传感器压紧到下部盒。

主权项

1、一种等离子区异常放电检测装置，其特征在于：具有以下几部份，即：多个设置在使用弱电离的非热平衡等离子体的等离子处理装置的相互不同部位的超声波检测装置，对由上述超声波检测装置检测出的超声波波形信号进行处理的数据处理装置和显示异常放电发生情况的监控装置。