| 发明名称 |
Fabrication of advanced silicon-based MEMS devices |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1452481(A3) |
申请公布日期 |
2005.10.12 |
| 申请号 |
EP20040100440 |
申请日期 |
2004.02.05 |
| 申请人 |
DALSA SEMICONDUCTOR INC. |
发明人 |
OUELETT, LUC;ANTAKI, ROBERT |
| 分类号 |
B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02;B81C99/00;H01L21/8242;(IPC1-7):B81B7/00;B81C5/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
