发明名称 | 带有锥形增益区的脊型波导高功率半导体激光器结构 | ||
摘要 | 一种带有锥形增益区的脊型波导高功率半导体激光器结构,其中包括:一衬底;一铝镓砷层,该铝镓砷层制作在衬底上;一铝镓铟砷有源层,该铝镓铟砷铝镓铟砷有源层制作在铝镓砷上;一铝铟砷层,该铝铟砷铝铟砷层制作在铝镓铟砷有源层上;一铟磷层,该铟磷层制作在铝铟砷层上,该铟磷层的面积小于铝铟砷层的面积;一铟镓砷层,该铟镓砷层制作在铟磷层上;该铟磷层和铟镓砷层形成一脊型区域;一层介质膜,该层介质膜制作在脊型区域的两侧及铝铟砷层上;一层P面电极,该P面电极制作在脊型区域的上面及介质膜上;一N面电极,该N面电极制作在衬底的下面。 | ||
申请公布号 | CN1681176A | 申请公布日期 | 2005.10.12 |
申请号 | CN200410032559.9 | 申请日期 | 2004.04.09 |
申请人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明人 | 张洪波;韦欣;朱晓鹏;王国宏;马骁宇 |
分类号 | H01S5/22;H01S5/30 | 主分类号 | H01S5/22 |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 汤保平 |
主权项 | 1、一种带有锥形增益区的脊型波导高功率半导体激光器结构,其特征在于,其中包括:一衬底;一铝镓砷层,该铝镓砷层制作在衬底上;一铝镓铟砷有源层,该铝镓铟砷铝镓铟砷有源层制作在铝镓砷上;一铝铟砷层,该铝铟砷铝铟砷层制作在铝镓铟砷有源层上;一铟磷层,该铟磷层制作在铝铟砷层上,该铟磷层的面积小于铝铟砷层的面积;一铟镓砷层,该铟镓砷层制作在铟磷层上;该铟磷层和铟镓砷层形成一脊型区域;一层介质膜,该层介质膜制作在脊型区域的两侧及铝铟砷层上;一层P面电极,该P面电极制作在脊型区域的上面及介质膜上;一N面电极,该N面电极制作在衬底的下面。 | ||
地址 | 100083北京市海淀区清华东路甲35号 |