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发明名称
MICROPATTERN FORMING MATERIAL AND FINE STRUCTURE FORMING METHOD
摘要
申请公布号
KR100520012(B1)
申请公布日期
2005.10.12
申请号
KR20030059984
申请日期
2003.08.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;G03F7/20;G03F7/40;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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