发明名称 半导体元件的支撑板
摘要 本发明涉及支撑板(1),优选由玻璃、花岗岩或者陶瓷制成,用于支撑元件(3)、尤其是IC或者其它半导体元件。该支撑板(1)的顶面至少部分地被粗糙化(粗糙化区域(2)),产生优选大约0.3微米的粗糙度Ra。此外,本发明涉及包括该支撑板(1)的封装单元(4)。
申请公布号 CN1682365A 申请公布日期 2005.10.12
申请号 CN03821650.7 申请日期 2003.08.18
申请人 皇家飞利浦电子股份有限公司 发明人 F·C·M·德哈亚斯;J·M·E·范拉亚尔霍文
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 吴立明;梁永
主权项 1.一种支撑板,用于在所述支撑板的顶面上支撑至少一个元件,尤其是IC或者其它半导体元件,特别是晶片,其特征在于使该顶面至少部分地被粗糙化。
地址 荷兰艾恩德霍芬