压力传感器

摘要

本发明涉及一种压力计，包括具有刚性的外部部分和响应隔膜的第一和第二侧之间的压力差而位移的可位移的内部部分的隔膜。所述压力计还包括位于隔膜附近并适于检测隔膜的内部部分的位移的传感器。所述压力计还包括和传感器相连(有线或无线)并适用于由隔膜的位移确定压力差的监视器和控制系统。传感器以及监视器和控制系统可以利用一个或几个光学检测设计、电容检测设计、或用于测量亚微米位移的其它装置实施。对于低压应用，例如平版印刷应用，隔膜对在大约0.1－0.5英寸水柱压力的范围内的压力改变敏感。隔膜和传感器具有相对高的带宽，因而可在相对高的速度应用中实施。例如，本发明可以在平版印刷接近检测设备和平版印刷构形映象设备中实施。

主权项

1.一种压力计，包括：隔膜，具有刚性的外部部分和响应所述隔膜的第一和第二侧之间的压力差而位移的可位移的内部部分；位于所述隔膜附近并适用于检测所述隔膜的内部部分的位移的传感器；以及和所述传感器相连并适用于由隔膜的位移确定所述压力差的监视器和控制系统。