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发明名称 END- STATION SECTION FOR ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 KR20050098322(A) 申请公布日期 2005.10.12
申请号 KR20040023322 申请日期 2004.04.06
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 PARK, BYUNG HYUN
分类号 H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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