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发明名称 method of cleaning a substrate
摘要
申请公布号 KR100520819(B1) 申请公布日期 2005.10.12
申请号 KR20030011785 申请日期 2003.02.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;B08B3/12;C11D7/08;C11D11/00;C23G1/02;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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