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发明名称 Polishing composition and polishing method using the same
摘要
申请公布号 GB0517939(D0) 申请公布日期 2005.10.12
申请号 GB20050017939 申请日期 2005.09.05
申请人 FUJIMI INCORPORATED 发明人
分类号 B24B37/00;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 B24B37/00
代理机构 代理人
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