大型光罩用护罩的支承装置及配件的使用方法

摘要

本发明是关于将附着在光罩用护罩(pellicle)之膜上的异物去除或将光罩用护罩之膜检查的设备及其使用方法。即使为大型光罩用护罩也可容易地处理，而且为了提供作为可容易地检查其整面的支承装置，因此本发明的大型光罩用护罩的支承装置之代表性的构成是在大型光罩用护罩的支承装置之中，具备：平衡器装置、安装在上述平衡器装置的配件、及与上述配件卡合，并且与光罩用护罩的框部嵌合的座架。

主权项

1.一种大型光罩用护罩的支承装置,是可藉由操作者移动用来让光罩用护膜(43)张挂在其上的框部(41)之方式,来将框部(41)相对于地面而可移动地支承,其特征为:具有:可相对于地面而移动的可移动构件(22)、及卡合构件(3),用于固持框部(41),以及可装脱自如地连接至可移动构件(22),以致于卡合构件(3)由可移动构件(22)固持。2.如申请专利范围第1项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,可移动构件(22)是可相对于地面而水平方向的移动、相对于地面而垂直方向的移动、以围绕着与地面交叉的轴线的旋转移动、及以围绕着与地面平行的轴线的旋转移动之至少为其中一种。3.如申请专利范围第1项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,更具有安装在可移动构件(22)上的安装构件(2),而且卡合构件(3)可以与安装构件(2)装脱自如地卡合,以致于该卡合构件(3)由安装构件(2)固持。4.如申请专利范围第2项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,更具有安装在可移动构件(22)上的安装构件(2),而且卡合构件(3)可以与安装构件(2)装脱自如地卡合,以致于该卡合构件(3)由安装构件(2)固持。5.如申请专利范围第3项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,安装构件(2)是具备握把部份(25),而且操作者可接触于握把部份(25)来使安装构件(2)移动。6.如申请专利范围第4项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,安装构件(2)是具备握把部份(25),而且操作者可接触于握把部份(25)来使安装构件(2)移动。7.如申请专利范围第5项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,朝张挂在框部(41)之时的光罩用护膜(43)的厚度方向来看,握把部份(25)是被配置在比框部(41)还外侧。8.如申请专利范围第6项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,朝张挂在框部(41)之时的光罩用护膜(43)的厚度方向来看,握把部份(25)是被配置在比框部(41)还外侧。9.如申请专利范围第3至8项所记载之任一项的大型光罩用护罩的支承装置,其中,安装构件(2)具有垂直向上突出的棒状突起(23),而且卡合构件(3)具有嵌合容纳棒状突起(23)的孔,且伴随棒状突起(23)嵌合于孔之内,卡合构件(3)与装脱自如地卡合至安装构件(2),以致于由安装构件(2)所固持。10.如申请专利范围第9项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,卡合构件(3)具有将孔包围并延伸的管状部份(32)。11.如申请专利范围第10项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,管状部份(32)具有充分的长度来使操作者透过管状部份(32)而握持并移动卡合构件(3)。12.如申请专利范围第9项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,安装构件(2)具有复数个棒状突起(23),而且卡合构件(3)具有分别嵌合容纳复数个棒状突起(23)的复数个孔。13.如申请专利范围第10项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,安装构件(2)具有复数个棒状突起(23),而且卡合构件(3)具有分别嵌合容纳复数个棒状突起(23)的复数个孔。14.如申请专利范围第11项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,安装构件(2)具有复数个棒状突起(23),而且卡合构件(3)具有分别嵌合容纳复数个棒状突起(23)的复数个孔。15.如申请专利范围第12项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,复数个棒状突起(23)是在与张挂于框部(41)之时的光罩用护膜(43)的厚度方向相垂直的方向上被相互地分离。16.如申请专利范围第13项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,复数个棒状突起(23)是在与张挂于框部(41)之时的光罩用护膜(43)的厚度方向相垂直的方向上被相互地分离。17.如申请专利范围第14项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,复数个棒状突起(23)是在与张挂于框部(41)之时的光罩用护膜(43)的厚度方向相垂直的方向上被相互地分离。18.如申请专利范围第12项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,复数个棒状突起(23)是在水平方向上被相互地分离。19.如申请专利范围第13项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,复数个棒状突起(23)是在水平方向上被相互地分离。20.如申请专利范围第14项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,复数个棒状突起(23)是在水平方向上被相互地分离。21.如申请专利范围第15项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,复数个棒状突起(23)是在水平方向上被相互地分离。22.如申请专利范围第16项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,复数个棒状突起(23)是在水平方向上被相互地分离。23.如申请专利范围第17项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,复数个棒状突起(23)是在水平方向上被相互地分离。24.一种大型光罩用护罩的支承装置,将用来让光罩用护膜(43)张挂在其上的框部(41)安装在可相对于地面移动的可移动构件(22)上,其特征为:具有:安装在可移动构件(22)上的安装构件(2)、及卡合构件(3),用于固持框部(41),以及可装脱自如地卡合至安装构件(2),以致于卡合构件(3)由安装构件(2)固持,安装构件(2)具有垂直向上突出的棒状突起(23),而且卡合构件(3)具有嵌合容纳棒状突起(23)的孔,且伴随棒状突起(23)嵌合于孔之内,卡合构件(3)与装脱自如地卡合至安装构件(2),以致于由安装构件(2)所固持。25.如申请专利范围第24项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,安装构件(2)是具备握把部份(25),操作者可接触于握把部份(25)来使安装构件(2)移动。26.如申请专利范围第24项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,卡合构件(3)具有将孔包围并延伸的管状部份(32)。27.如申请专利范围第25项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,卡合构件(3)具有将孔包围并延伸的管状部份(32)。28.如申请专利范围第26项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,管状部份(32)具有充分的长度来使操作者透过管状部份(32)而握持并移动卡合构件(3)。29.如申请专利范围第27项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,管状部份(32)具有充分的长度来使操作者透过管状部份(32)而握持并移动卡合构件(3)。30.如申请专利范围第24至29项所记载之任一项的大型光罩用护罩的支承装置,其中,安装构件(2)具有复数个棒状突起(23),而且卡合构件(3)具有分别嵌合容纳棒状突起(23)的复数个孔。31.如申请专利范围第30项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,复数个棒状突起(23)是在与张挂于框部(41)之时的光罩用护膜(43)的厚度方向相垂直的方向上被相互地分离。32.如申请专利范围第30项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,复数个棒状突起(23)是在水平方向上被相互地分离。33.如申请专利范围第31项所记载的大型光罩用护罩的支承装置,其中,复数个棒状突起(23)是在水平方向上被相互地分离。34.一种大型光罩用护罩的配件之使用方法,将用来让光罩用护膜(43)张挂在其上的框部(41)而安装在可相对于地面移动的可移动构件(22)上,其特征为:具有:使框部(41)卡合在卡合构件(3),以致于使框部(41)由卡合构件(3)固持的步骤,及使卡合构件(3)与安装在可移动构件(22)上的安装构件(2)相卡合,以致于卡合构件(3)由安装构件(2)固持的步骤,在使卡合构件(3)与安装在可移动构件(22)上的安装构件(2)相卡合,以致于卡合构件(3)由安装构件(2)固持的步骤中,安装构件(2)的垂直向上突出的棒状突起(23)嵌入于卡合构件(3)的孔内,以致于藉由棒状突起(23)与孔的嵌合,将卡合构件(3)固持在安装构件(2)上。35.如申请专利范围第34项所记载的大型光罩用护罩的配件之使用方法,其中,藉由抓住围绕卡合构件(3)的孔并延伸的管状部份(32),将安装构件(2)的垂直向上突出的棒状突起(23)嵌入于卡合构件(3)的孔内。图式简单说明:第1图是本发明实施方式之其中一例的光罩用护罩的支承装置之全体构成图。第2图是说明本发明实施方式之其中一例的配件之图。第3图是说明本发明实施方式之其中一例的光罩用护罩的座架之图第4图是说明本发明实施方式之其中一例的光罩用护罩之图。