发明名称 基板传送机台及其侦测装置
摘要 一种基板传送机台及其侦测装置,其中基板传送机台包括复数个滚子、一举起构件、复数个第一侦测器、以及一第二侦测器;滚子和举起构件分别用以传送和举起基板,而第一侦测器用以侦测基板是否有缺角;第二侦测器用以侦测基板是否到达一既定位置,且分别与举起构件、滚子、第一侦测器耦合,其中当第二侦测器侦测基板到达既定位置时,使滚子停止,且作动第一侦测器侦测基板是否有缺角,而当第一侦测器没有侦测到缺角时,发出一讯号,以致能举起构件。
申请公布号 TWI241668 申请公布日期 2005.10.11
申请号 TW092108524 申请日期 2003.04.14
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 林威呈;古国仕;叶启聪;薛裕耀
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 洪澄文 台北市大安区信义路4段279号3楼;颜锦顺 台北市大安区信义路4段279号3楼
主权项 1.一种侦测装置,适用于一机台,该机台用以传送一基板,且具有一举起构件以及复数个滚子,该侦测装置包括:复数个第一侦测器,用以侦测该基板是否有缺角;以及一第二侦测器,用以侦测该基板是否到达一既定位置,且分别与该举起构件、该等滚子、该等第一侦测器耦合,其中当该第二侦测器侦测该基板到达该既定位置时,使该等滚子停止,且作动该等第一侦测器侦测该基板是否有缺角,而当该等第一侦测器没有侦测到缺角时,发出一讯号,以致能该举起构件。2.如申请专利范围第1项所述的侦测装置,更包括复数个开关,分别与该等第一侦测器耦合,其中当任一该等第一侦测器侦测到缺角时,使该开关断路,以使该讯号无法传递到该举起构件。3.如申请专利范围第2项所述的侦测装置,其中该等开关以串联的方式相互耦合。4.如申请专利范围第2项所述的侦测装置,其中该等开关分别为一继电器。5.如申请专利范围第1项所述的侦测装置,其中该第二侦测器以串联的方式与该等第一侦测器耦合,且用以侦测该基板是否有缺角,而当该第二侦测器侦测到缺角时,使该等第一侦测器的讯号无法传递到该举起构件。6.如申请专利范围第1项所述的侦测装置,其中该等第一侦测器分别设置在位于该既定位置的该基板的角落。7.如申请专利范围第1项所述的侦测装置,更包括一第三侦测器,与该滚子耦合,用以使该滚子减速。8.如申请专利范围第1项所述的侦测装置,其中该机台更包括一控制单元,其与该举起构件耦合,且当该等第一侦测器没有侦测到缺角时,使该控制单元和该举起构件之间导通。9.如申请专利范围第1项所述的侦测装置,其中该等第一侦测器系以成对的方式设置,且相邻的第一侦测器之间的间隔为5mm。10.如申请专利范围第1项所述的侦测装置,其中该机台更包括一本体,而上述侦测装置更包括一位置调整总成,以可移动的方式设置于该本体上,且其上分别设有该等第一侦测器,用以调整该等第一侦测器之位置。11.如申请专利范围第10项所述的侦测装置,其中该位置调整总成分别包括:一基底,以可移动的方式设置于该本体上;以及一移动板,以可移动的方式设置于该基底上,且该等第一侦测器分别以可移动方式设置于该移动板上。12.如申请专利范围第11项所述的侦测装置,其中该本体上形成有一第一导槽,且该基底上形成有与该第一导槽对应的一第一导轨,藉由该第一导轨在该第一导槽上移动,使该基底可在该本体上移动。13.如申请专利范围第11项所述的侦测装置,其中该位置调整总成更包括一第一定位构件,穿过该基底与该本体结合,用以将该基底定位于该本体上。14.如申请专利范围第11项所述的侦测装置,其中该基底上形成有一第二导槽,且该移动板上形成有与该第二导槽对应的一第二导轨,藉由该第二导轨在该第二导槽上移动,使该移动板可在该基底上移动。15.如申请专利范围第11项所述的侦测装置,其中该位置调整总成更包括一第二定位构件,穿过该移动板与该基底结合,用以将该移动板定位于该基底上。16.如申请专利范围第11项所述的侦测装置,其中该移动板上形成有一第三导槽,用以供该第一侦测器穿过,而使该第一侦测器可在该移动板上移动。17.一种基板传送机台,包括;一举起构件,用以将一基板举起;以及复数个第一侦测器,用以侦测该基板是否有缺角,且与该举起构件耦合,其中当该等第一侦测器没有侦测到缺角时,发出一讯号,以致能该举起构件。18.如申请专利范围第17项所述的基板传送机台,更包括复数个开关,分别与该等第一侦测器耦合,其中当任一该等第一侦测器侦测到缺角时,使该开关断路,以使该讯号无法传递到该举起构件。19.如申请专利范围第18项所述的基板传送机台,其中该等开关以串联的方式相互耦合。20.如申请专利范围第18项所述的基板传送机台,其中该等开关分别为一继电器。21.如申请专利范围第17项所述的基板传送机台,更包括复数个滚子,用以传送该基板。22.如申请专利范围第21项所述的基板传送机台,更包括一第二侦测器,用以侦测该基板是否到达一既定位置,且与该等滚子耦合,其中当该第二侦测器侦测该基板到达该既定位置时,使该等滚子停止。23.如申请专利范围第22项所述的基板传送机台,其中该第二侦测器以串联的方式与该等第一侦测器耦合,且用以侦测该基板是否有缺角,而当该第二侦测器侦测到缺角时,使该等第一侦测器的讯号无法传递到该举起构件。24.如申请专利范围第22项所述的基板传送机台,其中该等第一侦测器分别设置在位于该既定位置的该基板的角落。25.如申请专利范围第21项所述的基板传送机台,更包括一第三侦测器,与该滚子耦合,用以使该滚子减速。26.如申请专利范围第17项所述的基板传送机台,更包括一控制单元,与该举起构件耦合,其中当该等第一侦测器没有侦测到缺角时,使该控制单元和该举起构件之间导通。27.如申请专利范围第17项所述的基板传送机台,其中该等第一侦测器系以成对的方式设置,且相邻的第一侦测器之间的间隔为5mm。28.如申请专利范围第17项所述的基板传送机台,更包括:一本体,其上设有该举起构件;以及一位置调整总成,以可移动的方式设置于该本体上且其上分别设有该等第一侦测器,用以调整该等第一侦测器之位置。29.如申请专利范围第28项所述的基板传送机台,其中该位置调整总成分别包括:一基底,以可移动的方式设置于该本体上;以及一移动板,以可移动的方式设置于该基底上,且该等第一侦测器分别以可移动方式设置于该移动板上。30.如申请专利范围第29项所述的基板传送机台,其中该本体上形成有一第一导槽,且该基底上形成有与该第一导槽对应的一第一导轨,藉由该第一导轨在该第一导槽上移动,使该基底可在该本体上移动。31.如申请专利范围第29项所述的基板传送机台,其中该位置调整总成更包括一第一定位构件,穿过该基底与该本体结合,用以将该基底定位于该本体上。32.如申请专利范围第29项所述的基板传送机台,其中该基底上形成有一第二导槽,且该移动板上形成有与该第二导槽对应的一第二导轨,藉由该第二导轨在该第二导槽上移动,使该移动板可在该基底上移动。33.如申请专利范围第29项所述的基板传送机台,其中该位置调整总成更包括一第二定位构件,穿过该移动板与该基底结合,用以将该移动板定位于该基底上。34.如申请专利范围第29项所述的基板传送机台,其中该移动板上形成有一第三导槽,用以供该第一侦测器穿过,而使该第一侦测器可在该移动板上移动。图式简单说明:第1图系为习知基板传送机台之示意图;第2图系为本发明之基板传送机台之示意图;第3图系为本发明之位置调整总成之示意图;第4、5图系为本发明之侦测装置之示意图;以及第6图系显示基板在机台上传送时,各元件被作动之示意图。
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