| 主权项 |
1.一种具环绕凹沟的绝缘套,其系用于一真空系统, 该绝缘套系绝缘于一载具及传动机构之间,其特征 在于,该绝缘套具有一环绕凹沟,以防止该绝缘套 之表面于金属镀膜制程中造成载具与传动机构之 接地。 2.如申请专利范围第1项所述之具环绕凹沟的绝缘 套,其中该真空系统系为一TFT LCD玻璃基板真空镀 膜系统。 3.如申请专利范围第1项所述之具环绕凹沟的绝缘 套,其中该载具系藉以承载一玻璃基板。 4.如申请专利范围第1项所述之具环绕凹沟的绝缘 套,其中该之环绕凹沟系设于绝缘套之腹缘。 5.如申请专利范围第1项所述之具环绕凹沟的绝缘 套,其中该金属镀膜制程系为一氧化铟锡金属镀膜 制程。 图式简单说明: 第一图为习用的玻璃基板载具及传动机构的示意 图。 第二图为本案较佳实施例之改良之绝缘套示意图 。 |
