发明名称 Aksellerasjonssensor og fremgangsmate for registrering av skrastilling
摘要 I en akselerasjonsføler for påvisning av skrå forflytninger av en bestemt artikkel fra en utgangsposisjon, omfatter akselerasjonføleren (10) en følerbrikke med et påvisningsplan herunder en påvisningsakse eller to kryssende påvisningsakser som påviser den skrå forflytning. En akse vinkelrett på påvisningsplanet av følerbrikken er anbrakt parallelt med et standardplan av artikkelen i utgangsposisjonen. Deretter frembringer følerbrikken et utgangssignal i samsvar med en skrå forflytning av standardplanet.
申请公布号 NO20054191(A) 申请公布日期 2005.10.11
申请号 NO20050004191 申请日期 2005.09.09
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 HARADA MUNEO;IKEUCHI NAOKI;HASHIMOTO HIROYUKI
分类号 G01C9/06;G01C9/08;G01P15/12;G01P15/18 主分类号 G01C9/06
代理机构 代理人
主权项
地址