Dual face shower head electrode for a magnetron plasma-generating apparatus,申请号KR20007003513-传众专利搜索

发明名称	Dual face shower head electrode for a magnetron plasma-generating apparatus
摘要
申请公布号	KR100519873(B1)	申请公布日期	2005.10.11
申请号	KR20007003513	申请日期	2000.03.31
申请人		发明人
分类号	H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	H01J37/32
代理机构		代理人
主权项
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