发明名称 Alumimum hillock momitoring pattern using dummy area in chip corner
摘要
申请公布号 KR100520537(B1) 申请公布日期 2005.10.11
申请号 KR20030006467 申请日期 2003.01.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利