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摘要
申请公布号
KR100520626(B1)
申请公布日期
2005.10.10
申请号
KR20020076967
申请日期
2002.12.05
申请人
发明人
分类号
H01L31/10;H01L21/00;H01L31/0328;H01L31/0336;H01L31/072;H01L31/109;(IPC1-7):H01L31/10
主分类号
H01L31/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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