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<P>Procédé de réalisation d'une structure de membrane à orifices de perforation fermés couvrant une cavité, procédé caractérisé en ce qu'- on réalise au moins une couche à pores fins (2) sur un substrat (1),- on réalise dans le substrat (1) par une opération de gravure à travers la couche à pores fins, une cavité (6) couverte au moins par la couche à pores fins (2) sous cette couche (2),- on forme une couche de fermeture (5) sur la couche à pores fins, couche de fermeture qui couvre au moins en partie la couche à pores fins (2).</P>
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