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发明名称 DEVICE FOR PLASMA ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 KR20050097133(A) 申请公布日期 2005.10.07
申请号 KR20040022226 申请日期 2004.03.31
申请人 LG.PHILIPS LCD CO., LTD. 发明人 KIM, HONG YEOL
分类号 G02F1/13;(IPC1-7):G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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