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Eine Turbomolekularpumpe (T) umfasst eine Mehrzahl von abwechselnd axial hintereinander angeordneten, mit Schaufeln (10) versehenen Rotor- und Statorscheiben (8, 9), wobei die Schaufeln (10) zur Hochvakuumseite (2) hin einen steileren Anstellwinkel alpha aufweisen als die Schaufeln (10) zur Vakuumseite (3) hin. Um insbesondere den Wirkungsgrad zu erhöhen, wird die Turbomolekularpumpe (T) so ausgebildet, dass der Anstellwinkel alpha der Schaufeln (10) zur Vakuumseite (3) hin weniger als 8 DEG , vorzugsweise weniger als 5 DEG , beträgt. Die Herstellung der Schaufeln (10) erfolgt vorzugsweise durch High-Speed-Cutting. |
