发明名称 Chemisch verstärkte Positivphotoresistzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69926963(D1) 申请公布日期 2005.10.06
申请号 DE19996026963 申请日期 1999.09.15
申请人 KOREA KUMHO PETROCHEMICAL CO. LTD., SEOUL/SOUL 发明人 PARK, JOO-HYEON;SEO, DONG-CHUL;PARK, SUN-YI;KIM, SEONG-JU
分类号 C08F22/06;C08F32/00;C08G61/08;C08K5/10;C08L65/00;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 C08F22/06
代理机构 代理人
主权项
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