发明名称 Chipanordnung und Verfahren zum Herstellen derselben
摘要
申请公布号 DE19651528(B4) 申请公布日期 2005.10.06
申请号 DE1996151528 申请日期 1996.12.11
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 TOEPFER, MANFRED;KAULFERSCH, EBERHARD;WEIS, STEFAN;REICHL, HERBERT
分类号 H01L23/373;(IPC1-7):H01L21/58;H01L23/34 主分类号 H01L23/373
代理机构 代理人
主权项
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