发明名称 ETCHED DIELECTRIC FILM IN MICROFLUIDIC DEVICES
摘要 <p>An etched dielectric film for use in microfluidic devices. Channels, recesses, and other features can be etched into the films to make them suitable for use in microfluidic devices.</p>
申请公布号 WO2005093009(A1) 申请公布日期 2005.10.06
申请号 WO2005US03736 申请日期 2005.02.07
申请人 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY 发明人 KREUTTER, NATHAN P.;YANG, RUI;MAO, GUOPING;AESCHLIMAN, DENNY G.;GUNDEL, DOUGLAS B.;LUENEBURG, DAVID C.
分类号 H05K1/03;B01L3/00;B81C1/00;C09K13/02;H05K1/00;H05K3/00;(IPC1-7):C09K13/02 主分类号 H05K1/03
代理机构 代理人
主权项
地址