发明名称 Ferroelektrischer Kondensator und Prozeß zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE10393802(T5) 申请公布日期 2005.10.06
申请号 DE20031093802T 申请日期 2003.11.17
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 EGGER, ULRICH;ZHUANG, HAOREN;HORNIK, KARL
分类号 H01L21/02;H01L21/311;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址