| 发明名称 |
Vorrichtung zur Bearbeitung von Werkstücken |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19882475(B4) |
申请公布日期 |
2005.10.06 |
| 申请号 |
DE19981082475 |
申请日期 |
1998.06.25 |
| 申请人 |
TRIKON TECHNOLOGIES LIMITED, NEWPORT |
发明人 |
RHODES, CHARLES STEPHEN |
| 分类号 |
B65G49/07;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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