发明名称 Drucksensor und Verfahren zum Betreiben eines Drucksensors
摘要 Drucksensor (1) mit einem Substrat (471), einer Gegenstruktur (16), die auf dem Substrat (471) aufgebracht ist, einem Dielektrikum (481) auf der Gegenstruktur (16), einer Membran (11) auf dem Dielektrikum (481), wobei die Membran (11) oder die Gegenstruktur (16) durch einen angelegten Druck auslenkbar ist, einer Schutzstruktur (96), wobei die Schutzstruktur (96) von der Gegenstruktur (16) und der Membran (11) isoliert ist, wobei die Schutzstruktur (96) so bezüglich der Membran (11) oder der Gegenstruktur (16) angeordnet ist, daß sich eine Kapazität zwischen der Schutzstruktur und der Membran (11) oder der Schutzstruktur (96) und der Gegenstruktur (16) bildet, und mit einer Einrichtung zum Liefern eines Potentials an der Schutzstruktur (96), das sich von einem Potential an der Gegenstruktur (16) oder der Membran (11) unterscheidet.
申请公布号 DE102004011144(A1) 申请公布日期 2005.10.06
申请号 DE200410011144 申请日期 2004.03.08
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 DEHE, ALFONS
分类号 B81B3/00;G01L9/00;H04R19/00;H04R19/04;(IPC1-7):H04R19/04 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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