摘要 |
Drucksensor (1) mit einem Substrat (471), einer Gegenstruktur (16), die auf dem Substrat (471) aufgebracht ist, einem Dielektrikum (481) auf der Gegenstruktur (16), einer Membran (11) auf dem Dielektrikum (481), wobei die Membran (11) oder die Gegenstruktur (16) durch einen angelegten Druck auslenkbar ist, einer Schutzstruktur (96), wobei die Schutzstruktur (96) von der Gegenstruktur (16) und der Membran (11) isoliert ist, wobei die Schutzstruktur (96) so bezüglich der Membran (11) oder der Gegenstruktur (16) angeordnet ist, daß sich eine Kapazität zwischen der Schutzstruktur und der Membran (11) oder der Schutzstruktur (96) und der Gegenstruktur (16) bildet, und mit einer Einrichtung zum Liefern eines Potentials an der Schutzstruktur (96), das sich von einem Potential an der Gegenstruktur (16) oder der Membran (11) unterscheidet.
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