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发明名称 CHEMICAL MECHANICAL POLISHING SLURRY COMPOSITION CONTAINING ETCHANT
摘要
申请公布号 KR20050096281(A) 申请公布日期 2005.10.06
申请号 KR20040021416 申请日期 2004.03.30
申请人 DONGJIN SEMICHEM CO., LTD. 发明人 PARK, JONG DAI;KIM, DONG WAN;KO, GYONG BEUM;JEON, HONG MYEONG;KIM, DAE HWAN;AHN, IN SEOK
分类号 C09K3/14;(IPC1-7):C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
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