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发明名称 Monolithisch integrierte vertikale PIN-Fotodiode in BICMOS-Technologie
摘要
申请公布号 DE10394078(D2) 申请公布日期 2005.10.06
申请号 DE20031094078 申请日期 2003.11.12
申请人 X-FAB SEMICONDUCTOR FOUNDRIES AG 发明人 EINBRODT, WOLFGANG;ZIMMERMANN, HORST;FOERTSCH, MICHAEL
分类号 H01L21/8249;H01L31/0224;H01L31/0352;H01L31/105;(IPC1-7):H01L31/105;H01L31/022;H01L31/035 主分类号 H01L21/8249
代理机构 代理人
主权项
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