| 发明名称 | 扫描图案生成器系统以及扫描方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种在光敏衬底11上微光刻多光束写入高精度图案的扫描图案生成器系统，所述系统包括：光源1，优选地为激光器，用于产生至少两个光束；计算机控制的光调制器4；偏转器6，用于在衬底上对光束进行扫描；以及物镜10，用于对来自光源的至少一个光束在其到达衬底前进行会聚；其中至少所述物镜被设置在可相对于所述衬底11以及所述光源1移动的载体22上，其中所述载体限定了可相对于其余的固定光路移动的光路，其特征在于，所述系统还包括用于改变固定光路的装置，以便在所述载体和所述可移动光路移动期间，使光束在照射到光敏衬底上时能够保持其聚焦远心性。 | ||
| 申请公布号 | CN1221866C | 申请公布日期 | 2005.10.05 |
| 申请号 | CN01810270.0 | 申请日期 | 2001.06.25 |
| 申请人 | 微激光系统公司 | 发明人 | 托卓恩·桑斯托姆 |
| 分类号 | G03F7/20 | 主分类号 | G03F7/20 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 李德山 |
| 主权项 | 1.一种在光敏衬底(11)上微光刻多光束写入高精度图案的扫描图案生成器系统，所述系统包括：光源(1)，优选地为激光器，用于产生至少两个光束；计算机控制的光调制器(4)；偏转器(6)，用于在衬底上对光束进行扫描；以及物镜(10)，用于对来自光源的至少一个光束在其到达衬底前进行会聚；其中至少所述物镜被设置在可相对于所述衬底(11)以及所述光源(1)移动的载体(22)上，其中所述载体限定了可相对于其余的固定光路移动的光路，其特征在于，所述系统还包括用于改变固定光路的装置，以便在所述载体和所述可移动光路移动期间，使光束在照射到光敏衬底上时能够保持其聚焦远心性。 | ||
| 地址 | 瑞典泰比 | ||