,申请号JP20020127388-传众专利搜索

发明名称
摘要
申请公布号	JP3701626(B2)	申请公布日期	2005.10.05
申请号	JP20020127388	申请日期	2002.04.26
申请人		发明人
分类号	C23C16/505;C23C16/30;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316	主分类号	C23C16/505
代理机构		代理人
主权项
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