| 发明名称 | 惯性传感器 | ||
| 摘要 | 一种惯性传感器，包括：传感部分，其具有由梁支撑的配重，该配重是可运动部分；以及限制配重的可运动范围的配重止动件，该配重止动件以给定间距设置在配重的附近，并成为利用MEMS技术所加工的惯性传感器的衬底的一部分。 | ||
| 申请公布号 | CN1677056A | 申请公布日期 | 2005.10.05 |
| 申请号 | CN200510059704.7 | 申请日期 | 2005.03.29 |
| 申请人 | 富士通媒体部品株式会社;富士通株式会社 | 发明人 | 石川宽;中村义孝;德永博司;永田宪治 |
| 分类号 | G01C19/00;G01P9/00 | 主分类号 | G01C19/00 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈坚 |
| 主权项 | 1.一种惯性传感器，包括：传感部分，其具有由梁支撑的配重，该配重是可运动部分；以及配重止动件，其限制配重的可运动范围，该配重止动件以给定间距设置在配重的附近，并成为利用MEMS技术所加工的惯性传感器的衬底的一部分。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||